本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進(jìn)氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)進(jìn)氣口雙進(jìn)風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運(yùn)行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動(dòng)補(bǔ)水相結(jié)合的方法，風(fēng)機(jī)采用一用一備形式，這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟?，更加大了設(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來(lái)的粉塵通過(guò)排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。

本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼原料進(jìn)行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自燃的特點(diǎn)，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過(guò)填料層再進(jìn)入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過(guò)噴霧處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣。

控制系統(tǒng)及注意事項(xiàng)：

1. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須保證負(fù)壓200Pa左右。

2. PECVD設(shè)備真空泵后面必須加裝應(yīng)急燃燒筒。

3. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須采用新工藝，雙風(fēng)機(jī)抽風(fēng)，一用一備。

4. 風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口的電動(dòng)調(diào)節(jié)閥必須與風(fēng)機(jī)聯(lián)動(dòng)。

5. 風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口前必須加裝碟閥，以控制硅烷燃燒凈化裝置內(nèi)負(fù)壓。

6. 硅烷燃燒凈化裝置新風(fēng)補(bǔ)風(fēng)口必須加裝調(diào)節(jié)閥。

7. 進(jìn)氣管接口外1～1.5米處必須由可以拆裝的連接口，以防清除燃燒箱雜物而可以拆除。